金花棋牌娱乐app中国官方版下载 朗姆究诘肯求在缺点填充膜蚀刻本事具有阻挠和原位钝化及硬掩模保护专利, 将膜前体休养成缺点内的膜
国度学问产权局信息骄贵，朗姆究诘公司肯求一项名为“在缺点填充膜蚀刻本事具有阻挠和原位钝化及硬掩模保护的原子层千里积”的专利，公开号CN122181220A，肯求日历为2024年11月。
专利提要骄贵，本文公开触及现实具有原位钝化的等离子体增强原子层千里积(PEALD)以及在现实缺点填充膜蚀刻时保护硬掩模的示例。一个示例提供了一种设施，其包括现实多个PEALD轮回以将膜千里积到缺点中。每个PEALD轮回包括将膜前体引入处分室，以将膜前体吸附到缺点内的名义上，金花棋牌娱乐app官方版然后清扫该室。PEALD轮回还包括在休养设施中，使用包含反映物和阻挠剂的气体搀杂物酿成等离子体，以将衬底泄漏于阻挠剂并将膜前体休养成缺点内的膜。PEALD轮回还包括在休养设施之后的钝化设施中，将衬底泄漏于包含钝化剂的等离子体以从缺点中的名义去除至少一些阻挠剂。
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